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ECTC 2026 | Keio University | Low-Loss Polymer Waveguide Device for Fiber-to-Chip and Chip-to-Chip Connection

  • 6月29日
  • 讀畢需時 5 分鐘
慷應大學在 ECTC 2026 用一個叫「Mosquito method(蚊子法)」的製程——像蚊子用針注射一樣,把核心材料用細針注進包層裡——做出超低損耗的單模聚合物波導。關鍵是它做出來的是漸變折射率(GI)圓形核心,靠折射率分布把光關住,而不是靠核心-包層界面的全反射,所以少了界面粗糙度的散射損耗。結果:1310 nm 傳播損耗只有 0.22–0.35 dB/cm,逼近材料本徵極限(Ormocer ~0.23 dB/cm);8 cm 長波導跑 106 Gb/s(53 Gbaud PAM4)眼圖漂亮、TDECQ 1.72 dB 還比沒波導時更好。更妙的是用流體力學分析,做出針外徑十幾倍細的 20 µm 間距四核心陣列、串擾極低。一句話:用一根針把光路「畫」進聚合物裡,做出逼近材料極限的 CPO 光重佈線。

1. 論文背景:CPO 的光重佈線,需要更靈活的波導製程

這篇來自日本慷應義塾大學(Keio University)石槭研究室,發表於 2026 IEEE 第 76 屆 ECTC。CPO 與 chiplet 系統需要光重佈線層(ORDL)做 fan-in/out 間距轉換,但現行平面波導(如絕熱耦合器)受核心截面幾何與佈線版圖限制,設計彈性與性能擴展受約束。

慷應發展的 Mosquito method 是一種聚合物波導製程:用細針把核心單體注進包層單體裡,靠掃描針的軌跡就能畫出任意 3D 核心走線,並在注入與 UV 曝光之間的「interim time」靠核心與包層單體互相擴散,形成漸變折射率(GI)圓形核心。這給了高設計彈性。

聚合物波導當 CPO 光重佈線的路線,我們在 技術文章分析|聚合物波導扛住 +20 dBm 六小時用「扇出封裝」打 1.6T 光引擎:A*STAR 的低成本 CPO 解法 都談過——慷應這篇貢獻的是「低損耗 + 細間距」這兩個材料/製程指標。


Fig. 1:Mosquito method 製程示意——細針注入核心單體、互相擴散形成 GI 圓形核心、UV 同時固化。圖片來源:Keio University, ECTC 2026 - Fig. 1
Fig. 1:Mosquito method 製程示意——細針注入核心單體、互相擴散形成 GI 圓形核心、UV 同時固化。圖片來源:Keio University, ECTC 2026 - Fig. 1


2. 核心問題:把整篇論文濃縮成一句話

這篇論文要證明的是:用 Mosquito method 做的 GI 圓形核心聚合物波導,能不能同時做到逼近材料極限的低損耗、106 Gb/s 高速傳輸、以及細到 20 µm 間距還低串擾。

答案是三件都做到了——而且低損耗的原因是 GI 核心避開了界面散射。


3. 關鍵圖表逐一解析

3.1 這張圖展示了「為什麼 GI 核心能逼近材料極限」

Fig. 1:Mosquito method 製程示意——細針注入核心單體、互相擴散形成 GI 圓形核心、UV 同時固化。圖片來源:Keio University, ECTC 2026 - Fig. 1
Fig. 1:Mosquito method 製程示意——細針注入核心單體、互相擴散形成 GI 圓形核心、UV 同時固化。圖片來源:Keio University, ECTC 2026 - Fig. 1

這組圖(Fig. 1、Fig. 3)講損耗來源。一般階變折射率(SI)波導靠核心-包層界面全反射關光,界面粗糙度會額外加上散射損耗,所以總損耗 = 材料損耗 + 結構損耗。Mosquito 做的 GI 核心靠折射率分布的折射來關光,結構性散射損耗(界面)被最小化。結果:1310 nm 傳播損耗 0.22–0.35 dB/cm,逼近 Ormocer(有機-無機混成樹脂)本徵吸收 ~0.23 dB/cm。Ormocer 的 C-H 鍵(尤其脂肪族 C-H)比一般碳氫聚合物少,本徵吸收本來就低。

重點:低損耗不是靠材料硬撐,是靠 GI 結構把「結構損耗」這一項幾乎歸零。


3.2 這張圖展示了「106 Gb/s 過、而且 TDECQ 還更好」

這組圖(Fig. 5、Table III)是眼圖。用這條低損耗波導跑 1310 nm、106 Gb/s(53 Gbaud PAM4)、8 cm 長。結果:有波導 TDECQ 1.72 dB,沒波導(直連)1.93 dB——加了波導反而更好。這條波導在 O-band(1.26–1.32 µm)有寬低損耗窗,可支援 4–8 波長 WDM,有助解決光纖對晶片耦合的「岸線密度(shoreline density)」問題。

Fig. 5:106 Gb/s(53 Gbaud PAM4)眼圖——8 cm 波導 TDECQ 1.72 dB。圖片來源:Keio University, ECTC 2026 - Fig. 5
Fig. 5:106 Gb/s(53 Gbaud PAM4)眼圖——8 cm 波導 TDECQ 1.72 dB。圖片來源:Keio University, ECTC 2026 - Fig. 5

3.3 這張圖展示了「20 µm 間距打破針徑限制」

這組圖(Fig. 7、Table IV)是細間距陣列。直覺上,注入核心的針外徑比 20 µm 間距大十幾倍,後注的針掃描應該會擾動先注的核心。但慷應用流體力學分析證明:先注的核心單體會繞過針的外園避開擾動,針通過後幾乎回到原位——所以可以做出 20 µm 間距的四核心陣列,不受針徑限制。實測 7.5 cm 傳輸後,相鄰核心幾乎沒有漏光、串擾極低(OrmoCore/OrmoClad 折射率差夠大、把模態強關在核心裡)。他們正在做 20 µm 與 127 µm 兩端的 fan-out,並要挑戰 10 µm 間距。


4. 技術亮點

第一個亮點是GI 圓形核心把結構散射損耗歸零:靠 Mosquito 的擴散製程做出折射率漸變核心,避開界面粗糙度散射,傳播損耗逼近材料本徵 0.23 dB/cm。這是聚合物波導難得做到的低損耗。

第二個亮點是用流體力學突破針徑限制做 20 µm 細間距:證明後注核心不會擾動先注核心,做出針徑十幾倍細的陣列且低串擾。這把 Mosquito 的高設計彈性延伸到高密度——對 ORDL 的 fan-in/out 與 chiplet 互連是關鍵。


5. 產業連結:離量產有多遠?誰受益?

距離:這是「材料/製程驗證」階段——學術研究室成果,損耗、106 Gb/s 傳輸、20 µm 陣列都驗了,但離產線整合(與 PIC/FAU 對接、量產良率、設備化 Mosquito)還有距離。慷應自陳下一步是做 20/127 µm fan-out 與挑戰 10 µm 間距。

受益者:最直接是聚合物 ORDL 與相關材料(Ormocer 類)生態系;其次是想用「高設計彈性、低損耗、可任意 3D 走線」做 CPO 光重佈線或 chiplet 光互連的封裝研究與廠商。要冷靜的是:Mosquito 是逐根針寫入的序列式製程,量產吞吐與設備化是它對上 DNP 壓印、Qnity 乾膜這些並行式製程時要面對的問題——它贏在彈性與低損耗,量產節拍是它的考題。


6. 總結

這篇論文該被記住的一句話是:用一根針把光路「畫」進聚合物、靠 GI 核心避開界面散射,慷應做出逼近材料極限(0.22–0.35 dB/cm)的單模波導,還用流體力學做出 20 µm 細間距陣列。 對追蹤 CPO 光重佈線的人,觀察點是:聚合物波導路線在比的是「低損耗 × 設計彈性 × 細間距 × 量產吞吐」,Mosquito 在前三項很強,量產節拍是它要證明的下一關。

參考資料

  • Kai Yokoyama, Haruka Nakajima, Takaaki Ishigure, "Low-Loss Polymer Waveguide Device for Fiber-to-Chip and Chip-to-Chip Connection," 2026 IEEE 76th ECTC. Keio University, Yokohama, Japan.

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